在格創(chuàng)東智Stocker：覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲(chǔ)，推動(dòng)良率&效率雙提速一文中，我們提到，為覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲(chǔ)需求，格創(chuàng)東智構(gòu)建了“核心存儲(chǔ)+配套緩存”的完整Stocker產(chǎn)品矩陣，包括晶圓盒存儲(chǔ)設(shè)備(Normal Stocker)、塔式跨樓層存儲(chǔ)設(shè)備(Tower Stocker)、光罩盒存儲(chǔ)設(shè)備(Reticle Stocker)、氮?dú)馓畛浯鎯?chǔ)設(shè)備(N2 Purge Stocker)等核心產(chǎn)品，以及空中緩存設(shè)備(OHB)、近機(jī)臺(tái)緩存設(shè)備(NTB)等配套設(shè)備。

作為矩陣中聚焦“近機(jī)臺(tái)最后一米”的關(guān)鍵角色，格創(chuàng)東智NTB是專為半導(dǎo)體生產(chǎn)機(jī)臺(tái)(光刻、刻蝕、沉積等)定制的自動(dòng)化緩存設(shè)備，其部署于機(jī)臺(tái)旁，充分利用垂直空間增加有效緩沖，實(shí)現(xiàn)“OHT天車-生產(chǎn)機(jī)臺(tái)”的物料高效中轉(zhuǎn)，解決傳統(tǒng)物流中機(jī)臺(tái)等料、OHT擁堵、人工干預(yù)污染等痛點(diǎn)，徹底打通半導(dǎo)體物料自動(dòng)化流轉(zhuǎn)的“最后一米”。

AMHS“最后一米”的緩存樞紐

三大特性打造不可或缺性

在半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)中，OHT天車承擔(dān)“跨區(qū)域長(zhǎng)距離搬運(yùn)”，Stocker承擔(dān)“全產(chǎn)線集中存儲(chǔ)”，而格創(chuàng)東智NTB則憑借“近距離、高頻次、快切換”三大特性，成為連接兩者與機(jī)臺(tái)的“關(guān)鍵紐帶”。

1、近距離：極致壓縮轉(zhuǎn)運(yùn)距離，消除延遲

空間靈活部署：采用模塊化拼接設(shè)計(jì)，占地面積僅1-2㎡，可嵌入刻蝕機(jī)集群間隙、測(cè)試機(jī)旁狹窄通道等場(chǎng)景，無(wú)需占用車間核心物流通道;

秒級(jí)物料交接：與機(jī)臺(tái)Load Port距離僅1-3米，單次Load/Unload時(shí)間最快10秒，遠(yuǎn)快于OHT的平均響應(yīng)時(shí)間，消除物流周轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)的延遲，平衡各機(jī)臺(tái)間節(jié)拍的差異。

2、高頻次：匹配機(jī)臺(tái)生產(chǎn)節(jié)奏，高效響應(yīng)

連續(xù)換料能力：機(jī)械臂采用輕量化設(shè)計(jì)，配合伺服電機(jī)精準(zhǔn)控制，最快單次Load/Unload時(shí)間≤10秒，1分鐘內(nèi)可完成至少3次連續(xù)Load/Unload任務(wù)，完美適配測(cè)試機(jī)、分揀機(jī)的高頻換料需求;

本地自主決策：內(nèi)置格創(chuàng)東智自研的控制系統(tǒng)，可直接接收機(jī)臺(tái)EAP指令，無(wú)需依賴MCS系統(tǒng)調(diào)度，避免網(wǎng)絡(luò)擁堵導(dǎo)致的響應(yīng)延遲。

3、快切換：E84一鍵切換，適配多場(chǎng)景柔性生產(chǎn)

E84協(xié)議是機(jī)臺(tái)(EQ)與外部設(shè)備(如OHT/NTB)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)交互的核心通訊標(biāo)準(zhǔn)，傳統(tǒng)模式下E84切換存在人工重新配置、切換周期長(zhǎng)、易出錯(cuò)的痛點(diǎn)。格創(chuàng)東智NTB創(chuàng)新開(kāi)發(fā)E84 一鍵快速切換功能，無(wú)需更換硬件接線，通過(guò)NTB本地觸摸屏或遠(yuǎn)程MCS系統(tǒng)，點(diǎn)擊“切換至OHT”/“切換至NTB”即可觸發(fā)，10分鐘內(nèi)完成模式切換，為產(chǎn)線柔性生產(chǎn)提供關(guān)鍵支撐。

破解機(jī)臺(tái)“等料”痛點(diǎn)

實(shí)現(xiàn)設(shè)備稼動(dòng)率&AMHS效率雙提升

格創(chuàng)東智NTB并非簡(jiǎn)單的“臨時(shí)貨架”，而是通過(guò)“提前備貨、自動(dòng)交接、緩沖調(diào)度”，為半導(dǎo)體產(chǎn)線帶來(lái)設(shè)備稼動(dòng)率提升、AMHS效率優(yōu)化等價(jià)值。

提升設(shè)備稼動(dòng)率：從“機(jī)等料”到“料等機(jī)”

傳統(tǒng)生產(chǎn)模式中，機(jī)臺(tái)因等待OHT送料、Load Port滿料停機(jī)等原因，稼動(dòng)率通常僅75%-80%。格創(chuàng)東智NTB通過(guò)兩大機(jī)制實(shí)現(xiàn)效率突破：

● 預(yù)緩存待加工物料：MCS系統(tǒng)根據(jù)機(jī)臺(tái)生產(chǎn)節(jié)拍下發(fā)搬運(yùn)任務(wù)給 OHTC，OHTC調(diào)度天車將待加工料盒送至NTB，機(jī)臺(tái)完成當(dāng)前工單后可立即接料，提高響應(yīng)時(shí)效性，避免“機(jī)等料”;

● 暫存已加工物料：機(jī)臺(tái)完成加工的晶圓載具可臨時(shí)存放在NTB，待OHT空閑時(shí)集中轉(zhuǎn)運(yùn)至Stocker，避免機(jī)臺(tái)因Load Port滿料引起停機(jī)等風(fēng)險(xiǎn)。

優(yōu)化AMHS效率：平衡負(fù)載、提高吞吐量

若所有物料均通過(guò)OHT直接對(duì)接機(jī)臺(tái)，會(huì)導(dǎo)致OHT調(diào)度頻繁、軌道擁堵(尤其多機(jī)臺(tái)同時(shí)叫料時(shí))。格創(chuàng)東智NTB通過(guò)“緩沖調(diào)節(jié)”平衡AMHS負(fù)載：

● 減少OHT無(wú)效往返：OHT可一次性將多臺(tái)機(jī)臺(tái)的待加工料盒送至對(duì)應(yīng)NTB，再集中轉(zhuǎn)運(yùn)已加工料盒至Stocker，單次任務(wù)覆蓋范圍擴(kuò)大，OHT空跑率大幅降低;

● 緩解軌道擁堵：避免OHT在機(jī)臺(tái)區(qū)域頻繁啟停、排隊(duì)等待，提升整體AMHS吞吐量。

作為國(guó)內(nèi)少數(shù)具備“AMHS整體解決方案+核心設(shè)備自研”能力的企業(yè)，格創(chuàng)東智NTB的價(jià)值，不僅在于解決“機(jī)等料”的單個(gè)痛點(diǎn)，更在于通過(guò)“小設(shè)備”串聯(lián)起AMHS全鏈路協(xié)同——從OHT天車的高效調(diào)度，到Stocker的集中存儲(chǔ)，再到機(jī)臺(tái)的連續(xù)生產(chǎn)，格創(chuàng)東智NTB成為打通自動(dòng)化物流閉環(huán)的關(guān)鍵一環(huán)。

截止目前，格創(chuàng)東智NTB已累計(jì)出貨20+臺(tái)，其中95%應(yīng)用于國(guó)內(nèi)頭部12吋先進(jìn)制程晶圓廠。未來(lái)，格創(chuàng)東智將持續(xù)以“技術(shù)自主可控、場(chǎng)景深度適配、服務(wù)高效響應(yīng)”為核心，夯實(shí)并完善“AI+CIM+AMHS”整體解決方案，助力半導(dǎo)體工廠智能化升級(jí)。

（來(lái)源：格創(chuàng)東智Getech）